噴膠機是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備。可對不同尺寸和形狀的基片進行涂膠，最大涂膠尺寸達8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時可對大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進行均勻涂膠；通過計算機系統(tǒng)控制器進行工藝參數(shù)的編輯和操作。
噴膠機對噴膠使用性能如下：
1.可用于對不同形狀尺寸的基片進行噴膠.最大噴膠尺寸要求達到8”。
2.可對不粘度的膠進行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。
3.可對大深寬比結(jié)構(gòu)進行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。
4.噴膠均勻性要求：單片表面≤±15%，片間為≤±10%。
5.計算機系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。
6.可手動卸載基片。
7.可對基片喝夾具加熱。
8.噴膠室易清洗。
9.供膠流速和流量可編程。
10.供膠回吸量可調(diào)節(jié)。
11.適用于所有光刻膠和聚合物。
12.具有自動針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測量計，并具有膠液回吸功能。
13.基片可對準等等。www.macsem.com.cn
